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1）冷凍水：用于潔凈室環(huán)境控制、PCW工藝?yán)鋮s水、純水的制備、變電所的散熱；

2）工藝?yán)鋮s水（PCW）：工藝設(shè)備（不光芯片制造的設(shè)備和一些切、磨、拋的設(shè)備和附屬設(shè)備，基本都是采用PCW工藝?yán)鋮s水降溫）；

3）冷卻塔：即一般冷卻水，冷卻塔里的這些冷卻水，主要用于動(dòng)力設(shè)備冷卻，如冷凍站、空壓機(jī)等CUB內(nèi)大型設(shè)備的散熱；

                     ▲歐亞雙機(jī)頭降膜式水冷螺桿冷水機(jī)組，2度出水                   

2.各自的關(guān)聯(lián)：

冷水機(jī)組的作用是通過制冷劑（多見為R134A）這一冷媒循環(huán)來與冷凍水、工藝?yán)鋮s水進(jìn)行熱交換。冷凍水有中溫或低溫冷凍水，PCW則相當(dāng)于是CUB冷凍系統(tǒng)的一個(gè)分支（實(shí)際上是“比較高溫的冷凍水”），沒有自己的獨(dú)立系統(tǒng)，工藝?yán)鋮s水經(jīng)冷水機(jī)組熱交換后降低熱量。

冷卻塔和冷凍水、工藝?yán)鋮s水相對(duì)獨(dú)立，也可稱為“一般冷卻水”，也就是上面提到的用于冷凍站、空壓機(jī)等的大型設(shè)備的散熱。那么為什么不直接用PCW對(duì)冷凍站、空壓機(jī)等進(jìn)行散熱呢？主要是因?yàn)镻CW采用電力供能，代價(jià)較高，同時(shí)工藝設(shè)備降溫用水水質(zhì)要求相對(duì)亦較高（一般為初級(jí)純水）。而對(duì)冷凍站、空壓機(jī)等進(jìn)行散熱時(shí)，水質(zhì)要求相對(duì)較低，利用冷卻塔散熱，與大氣熱交換，性價(jià)比則尤為凸顯。這也是將冷卻塔直接位于CUB屋面之上的原因。

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3.水溫范圍：

（1）冷凍水：溫度通常較低，進(jìn)水溫度通常在12℃~18℃左右，出水溫度一般在6℃~12℃左右（半導(dǎo)體廠的冷凍水供水溫度一般分低溫（6℃左右）和中溫（12℃左右）兩種，用以滿足不同的設(shè)備需求）；

（2）工藝?yán)鋮s水：溫度相對(duì)較高，一般進(jìn)水溫度在35~40℃左右，出水溫度30~35℃左右。

（3）冷卻塔冷卻水：一般進(jìn)水溫度一般在30℃-40℃，出水溫度在25℃-32℃。

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